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適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準分子 VUV 172nm 光源

  • 發(fā)布日期:2024-05-12      瀏覽次數(shù):303
    • 適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準分子 VUV 172nm 光源

      空氣冷卻緊湊型準分子燈單元,光長160mm,專為VUV 172波長的照射而設計,具有簡單的系統(tǒng)結(jié)構(gòu),可實現(xiàn)低溫精密處理。

      緊湊型準分子UV172nm光源型號E500-172-160

      與 6" 晶圓和掩?;寮嫒莸臒?。其特點包括簡單緊湊的結(jié)構(gòu)、高度可靠的空氣冷卻以及無需更換燈管的長壽命準分子燈。 *1 電源為 AC100V。



      特點 長壽命風冷準分子燈。無需更換燈管

          本來,準分子紫外線燈的結(jié)構(gòu)是燈泡內(nèi)部沒有電極,因此理論上它們被認為是長壽命燈,在國外有時被稱為準分子燈。然而,如今追求高照度的準分子燈由于燈管材料更輕、更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導致的玻璃變形,往往導致燈管壽命較短,從而導致成本較高。

      *1 根據(jù)多年的現(xiàn)場經(jīng)驗和結(jié)果,Excimer Co., Ltd. 的風冷緊湊型準分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件作為維護的一部分,但無需更換昂貴的燈管本身。我們實現(xiàn)了低成本和高可靠性。

      特征

      • 風冷式,安裝方便。

      • 燈管燈長160mm

      • 電源 AC100V 50/60Hz

      • 瞬時開/關燈功能。

      • 適合研究和開發(fā)。

      應用領域

      • 表面潤濕性和改性

      • 光化學

      • 反應性OH自由基過程

      • 抗蝕劑去除

      • UV O3工藝


      準分子紫外光處理的工藝原理


      規(guī)格


      波長172納米 
      燈長160毫米(燈箱型) 
      功能立即開/關燈
      燈箱尺寸(燈箱類型)寬200×高45×深80毫米
      電源尺寸(燈箱類型)寬250×高140×深200毫米
      力量交流100V 60Hz 1A
      奧普廷斯臭氧過濾器、工藝氣體供應裝置


      *由于采用緊湊型風冷設計,連續(xù)點亮時間在10分鐘以內(nèi)。



    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

    在線交流
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